低壓小型透射電鏡(Low-Voltage electron microscope,LVEM)采用的電子束加速電壓(5kV)遠低于大型透射電鏡。較低的加速電壓會增強電子束與樣品的作用強度,從而使圖像襯度、對比度提升,尤其適合高分子、生物等樣品;同時,低壓透射電鏡對樣品的損壞較小。
分辨率較大型電鏡低,1-2nm。由于采用低電壓,可以在一臺設備上整合透射電鏡、掃描電鏡與掃描透射電鏡。