電動位移臺又稱稱電控位移臺，通常由三部分組成：位移臺、驅動電機、控制器。驅動電機及控制器主要決定驅動扭矩、加減速度、信號處理、使用功能(如掃描、圓弧插補)等性能參數，隨著電機控制技術的提升，除了電移臺機械部件以外，電機和控制器也從很大程度上影響電移臺的振動、噪音及電移臺的定位精度。而位移臺作為整個位移系統的核心，系統的主要技術指標如：位移精度、行程、直線度、負載、穩定性、適應環境、外形尺寸等均由其決定。電動位移臺因其高精度、可控性強、實用性高、維護簡單、因而廣泛應用于科研、激光應用、全自動計量檢測儀器設備、工業自動化等領域;以及實現真空、污染、無菌、輻射等環境下的位移控制。
電動位移臺的性能指標介紹：
1.分辨率：
分辨率是指移動系統可以分辨的至小位置增量，它不同于系統的至小控制增量。同樣涉及到顯示器和數據采集器的分辨率，通常取決于編碼器的輸出，但由于滯后、背隙等導致傳動系統的降低，因而大多系統的至小移動增量都不等于分辨率，除非編碼器直接測量傳動。
2.靈敏度
能產生一個輸出運動的至小輸入，通常用來表征手動位移臺，也可以定義為輸入驅動和輸出運動的比值，這個術語經常和分辨率混淆。
3.精度
對于一個給定的輸入，實際位置和理想位置之間的大差距。運動系統的精度跟實際位置的測量方式有很大的關系，所以對于開環設備中精度并不是一個很有意義的參數。
4.精度
精度是指系統針對命令輸入或理想輸入的輸出，更直觀的說應該叫不確定度。當要求一個運動系統運動10mm，而實際上只運動了9.99mm，則不確定度是0.01mm。電動位移臺的軸線和測量尺的軸的角度誤差會導致一個與角度呈余玄關系的單調遞增誤差，這就是常說的余玄誤差。
5.度
精度是指對相同輸入，覆蓋95%運動偏移的變化輸出位置的變動范圍。度也叫重復定位精度。精度和度是不同的概念。
6.重復定位精度
重復定位精度是指移動系統多次可到達一個既定點的能力。通常所說的重復定位精度指的是單向重復定位精度，單向重復定位精度是指運動系統僅在一個方向上做重復增量運動。這個參數避開了系統的空回和滯后。
7.動態負載
動態負載是指靜態負載和運動阻力的總和。需要考慮的負載的一些動態特性包括摩擦力和慣性。由于動態載荷限制了電動位移臺系統所能達到的加速度，因此在評價整個運動系統性能時，必須要考慮此因素。