衍射襯度是來源于晶體試樣各部分滿足布拉格反射條件不同和結構振幅的差異。例如電壓一定時,入射束強度是一定的,假為L,衍射束強度為ID。在忽略吸收的情況下,透射束為L-ID。這樣如果只讓透射束通過物鏡光闌成像,那么就會由于樣品中各晶面或強衍射或弱衍射或不衍射,導致透射束相應強度的變化,從而在熒光屏上形成襯度。形成襯度的過程中,起決定作用的是晶體對電子束的衍射。