氫氟酸是強酸，幾乎可以與石墨中的任何雜質發生反應，而石墨具有良好的耐酸性，特別是可以耐氫氟酸，決定了石墨可以用氫氟酸進行提純。氫氟酸法的主要流程為石墨和氫氟酸混合，氫氟酸和雜質反應一段時間產生可溶性物質或揮發物，經洗滌去除雜質，脫水烘干后得到提純石墨。
氫氟酸與Ca、Mg、Fe等金屬氧化物反應生成沉淀，產生的 H2SiF6溶于溶液，又可除去Ca、Mg、Fe等雜質。
氫氟酸有劇毒，對環境污染嚴重，配合其他酸對石墨進行提純，可以有效地減少氫氟酸用量。氫氟酸法提純石墨具有工藝流程簡單、產品品位高、成本相對較低、對石墨產品性能影響小的優點。但是氫氟酸有劇毒，在使用過程中必須具有安全保護措施，對產生的廢水必須經過處理后方能向外排放，否則將會對環境造成嚴重污染。