| 儀器名稱： | 金相顯微鏡 |
| 儀器編號： | 11001102 |
| 產地： | 日本 |
| 生產廠家： | 奧林巴斯 |
| 型號： | MX51 |
| 出廠日期： | 201009 |
| 購置日期： | 201101 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 微電子所新所一層測試間 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 包艷琳（010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 樣品觀測 半導體工藝 金相顯微鏡 |
| 技術指標： | 放大倍數50~1000X |
| 知名用戶： | 王喆垚：微電子所 蔡堅：微電子所 許軍：微電子所 任天令：微電子所 陳煒：微電子所 王敬：微電子所 鄧寧：微電子所 吳華強：微電子所 伍曉明：微電子所 |
| 技術團隊： | 設備工程師：仲濤 測試工程師：陳雅璐 |
| 功能特色： | OLYMPUS金相顯微鏡（放大倍數50~1000X）結合OLYCIA P3金相圖像分析系統，可實現圖像的采集以及參數測量（長度、角度、面積等），并具有實用的金相測量功能。OLYMPUS金相顯微鏡配備微分干涉器，所觀察到的表面具有明顯的凹凸感，呈浮雕狀，對顆粒、裂紋、孔洞以及凸起等都能作出正確判斷，能夠容易判斷明場下難于判別的結構細節或缺陷。 |
樣品要求：
放大倍數50~1000X
預約說明：
實驗室的設備采用網上預約的方式、以先約先用為基本原則
取消預約需提前2個小時通過網上取消預約
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 金相顯微鏡 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 50.0 | |
| 金相顯微鏡-送樣 | 元/小時 | 測試費 | 50.0 |
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