原理為臭氧對波長 λ=254nm紫外光具有最大吸收稀疏，在此波長下紫外光通過臭氧層會產生衰減，符合蘭波特-比爾（Lambert--Beer）定律： I=Ioe-klc :Io-無臭氧存在時入射光強度；I-光束穿透臭氧后的光強度；L-臭氧樣品池光程長度；C-臭氧濃度；K-臭氧對光波長吸收系數。
根據該公式，在K、L值已知條件下，通過檢測I/Io值即可測出臭氧濃度C值來。
紫外吸收法已被美國等國家作為臭氧分析的標準方法。
按應用分為檢測空氣臭氧與檢測水溶臭氧兩種。均可連續在線檢測，數字顯示并可記錄打印。優點為檢測精度高，穩定性好，其它氧化劑干擾小。缺點為價格較高。
由于沿面放電型的充氣管與陶瓷片臭氧發生裝置產生氮氧化物含量較高，應采用紫外法檢測其臭氧濃度。
臭氧紫外檢測（分析）儀作為現代技術產品，具有完備的起提處理、光-電轉換、數據計算、分析及記錄功能。北京分析儀廠生產的8810型臭氧分析議，有0-10ppm、0-100pmm兩種產品。美、日、德等國家都有多種規格紫外分析儀生產，檢測量最高為20mg/L。