在后氧化工藝中，臭氧一般與活性炭聯合使用，其作用主要有：殺死細菌和病毒；氧化有機物，如殺蟲劑、清潔劑、苯酚等；去除COD；氧化分解螯合物，如EDTA和NTA等。
后臭氧接觸氧化的反應速度慢，反應時間一般不小于10 min。臭氧投加量一般為1.5～2.5 mg/L，水中余臭氧為0.2～0.4 mg/L。有效水深也為6 m。
后臭氧接觸氧化系統的被處理水一般為砂濾后水，水質較清，不含雜質，因此其擴散裝置一般均采用微孔布氣帽（盤）。微孔布氣帽（盤）不消耗動力，價格便宜，臭氧轉移效率高。
后臭氧接觸氧化系統一般每條流程線設2～3個投加點。
當采用2點投加時，各點臭氧投加比例順水流方向依次為總投加量的 80%～50%，20%～50%；2個投加點臭氧接觸時間分別為總時間的50%。
當采用3點投加時，各點臭氧投加比例順水流方向依次為總投加量的 80%～40%，10%～30%，10%～30%；3個投加點臭氧接觸時間，順水流方向依次為總時間的30%，30%，40%。