1、X射線激發系統垂直上照式X射線光學系統空冷式微聚焦型X射線管，Be窗標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標準75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選X射線管功率可編程控制裝備有安全防射線光閘
2、濾光片程控交換系統根據靶材，標準裝備有相應的一次X射線濾光片系統二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質、多種厚度的二次濾光片任選位置傳感器保護裝置，防止樣品碰創探測器窗口
3、準直器程控交換系統最多可同時裝配6種規格的準直器，程序交換控制多種規格尺寸準直器任選：－圓形，如4、6、8、12、20mil等－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
4、測量斑點尺寸在12.7mm聚焦距離時，最小測量斑點尺寸為：0.078x0.055mm(使用0.025x0.05mm準直器)在12.7mm聚焦距離時，最大測量斑點尺寸為：0.38x0.42mm(使用0.3mm準直器)
5、X射線探測系統封氣正比計數器裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路
6、樣品室CMI900CMI950－樣品室結構開槽式樣品室開閉式樣品室－最大樣品臺尺寸610mmx610mm300mmx300mm－XY軸程控移動范圍標準：152.4x177.8mm任選：50.8mmx152.4mm50.4mmx177.8mm101.6x177.8mm177.8x177.8mm610mmx610mm300mmx300mm－Z軸程控移動高度43.18mmXYZ程控時，152.4mmXY軸手動時，269.2mm－XYZ三軸控制方式多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制