其優點還是很多且相當明顯的。其一，它可以同時檢測同一樣品的多種元素，具備多元素同時檢出能力。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。其二，分析速度快，可以在幾分鐘內對幾十個元素進行定量測定，不需要經過化學處理。其三，選擇性好，可以應用于一些化學性質相似的元素的分析，分辨出不同的元素。其四，檢出限低，準確度高，可廣泛應用于多個領域。其五，無需過多樣品，適用于整批樣品的多組分測定。
當然，ICP光譜儀目前也存在一些局限性。其一，影響譜線強度的因素較多，對標準參比的組分要求較高；其二，元素含量較高的時候，準確度較差；其三，只能用于元素分析，不能進行結構、形態的測定；其四，大多數非金屬元素難以得到靈敏的光譜線。