X射線源是用Al或Mg作陽極的X射線管。 它們的光子能量分別是1486 eV和1254 eV 。 安裝過濾器(或稱單色器)是為了減小光子能量分散。
X射線光電子能譜儀(系統)結構原理
離子槍的作用一方面是為了濺射清除樣品表面污染,以便得到清潔表面,從而提高其分析的準確性。另一 方面,可以對樣品進行濺射剝離,以便分析不同深度下樣品的成份。
樣品室內的樣品架安裝有傳動機構,不但可以做x,y和z三個互相垂直方向的移動。還可沿某一坐標軸作一定角度的旋轉。這樣便于觀察分析研究樣品不同部位的情況。
電子能量分析器是X射線光電子能譜儀的關鍵組成部分。它的作用是測量電子能量分布和不同能量電子的相對強度。電子能量分析器和電子倍增器系統完全由微型電子計算機控制。
