電工所科技前沿論壇“微光刻與電子束光刻技術”開講
從1958年世界第一塊平面集成電路到2012年04月24日英特爾在北京天文館正式發布核心代號為Ivy Bridge的第三代酷睿處理器—英特爾首款22納米工藝處理器，短短五十多年，微電子技術一直遵循著摩爾定律，發展勢頭迅猛。 針對微光刻與電子束光刻技術發展圖譜，7月6日，中科院微電子所陳寶欽研究員做客電工所《科技前沿論壇》學術報告會，與電工所科研人員分享了一堂精彩的交流課。 作為全國半導體設備與材料標準化技術委員會副主任、微光刻分委會主任，全國納米技術標準化技術委員會微納加工技術工作組副秘書長，北京半導體專業委員會副主任、制版分會主任，陳寶欽研究員多年來一直從事光掩模與先進掩模制造技術、電子束光刻技術、微光刻與微納米加工技術的研究和開發工作。 本次報告，陳寶欽研究員主要講解了從1958年世界上出現第一塊平面集成電路到20世紀80年代世界上集成電路制造進入自動化大生產，再到2012年英特爾首款22納米工藝處......閱讀全文
電子束光刻的基本結構
電子束曝光的基本結構，從上往下依次為：電子槍、電子槍準直系統、電磁透鏡、消像散器、偏轉器、物鏡、光闌（Aperture）、電子探測器、工作臺（stage）以及真空泵（離子泵、分子泵、機械泵）。 電子槍：高分辨率的熱場發射，配有高壓，電子束的能量通常在10~100KeV。 電子槍準直系統：對電
用電子束撞擊原子會怎樣
被質子俘獲，兩者形成中子，有能量放出。但是原子核體積相對于原子核之間的間隙的體積來說是極其微小的（原子核直徑約十的負十五次米，原子直徑約十的負十次米，直徑是十萬分之一，體積就是10000000000000000（15個0）分之一），你拿電子束去射，都從縫隙里穿過去了。就算不穿過去，它們還是會被核外電
簡述電子束檢測的檢測原理
電子束檢測其檢測方式，是利用電子束掃描待測元件，得到二次電子成像的影像，根據影像的灰階值高低，以電腦視覺比對辨識，找出圖像中的異常點，視為電性缺陷，例如，在正電位模式下，亮點顯示待測元件為短路或漏電，暗點則為斷路。 其工作原理是利用電子束直射待測元件，大量的電子瞬間累積于元件中，改變了元件的表
集成電路的技術特點
集成電路具有體積小，重量輕，引出線和焊接點少，壽命長，可靠性高，性能好等優點，同時成本低，便于大規模生產。它不僅在工、民用電子設備如收錄機、電視機、計算機等方面得到廣泛的應用，同時在軍事、通訊、遙控等方面也得到廣泛的應用。用集成電路來裝配電子設備，其裝配密度比晶體管可提高幾十倍至幾千倍，設備的穩定工
模擬集成電路簡介
模擬集成電路主要是指由電容、電阻、晶體管等組成的模擬電路集成在一起用來處理模擬信號的集成電路。有許多的模擬集成電路，如運算放大器、模擬乘法器、鎖相環、電源管理芯片等。模擬集成電路的主要構成電路有：放大器、濾波器、反饋電路、基準源電路、開關電容電路等。
集成電路的工藝特點
集成電路（integrated circuit）是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝，把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起，制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上，然后封裝在一個管殼內，成為具有所需電路功能的微型結構；其中所有元件在結構上已組成一個整體，使電子元件向
集成電路的檢測常識
1、檢測前要了解集成電路及其相關電路的工作原理檢查和修理集成電路前首先要熟悉所用集成電路的功能、內部電路、主要電氣參數、各引腳的作用以及引腳的正常電壓、波形與外圍元件組成電路的工作原理。2、測試避免造成引腳間短路電壓測量或用示波器探頭測試波形時，避免造成引腳間短路，最好在與引腳直接連通的外圍印刷電路
集成電路按用途分類
集成電路按用途可分為電視機用集成電路、音響用集成電路、影碟機用集成電路、錄像機用集成電路、電腦（微機）用集成電路、電子琴用集成電路、通信用集成電路、照相機用集成電路、遙控集成電路、語言集成電路、報警器用集成電路及各種專用集成電路。1.電視機用集成電路包括行、場掃描集成電路、中放集成電路、伴音集成電路
集成電路按外形分類
集成電路按外形可分為圓形（金屬外殼晶體管封裝型，一般適合用于大功率）、扁平型（穩定性好，體積小）和雙列直插型。
集成電路失效分析步驟
1、開封前檢查，外觀檢查，X光檢查，掃描聲學顯微鏡檢查。2、開封顯微鏡檢查。3、電性能分析，缺陷定位技術、電路分析及微探針分析。4、物理分析，剝層、聚焦離子束(FIB)，掃描電子顯微鏡(SEM)，透射電子顯微鏡(SEM)、VC定位技術。一、無損失效分析技術1、外觀檢查，主要憑借肉眼檢查是否有明顯缺陷
半導體集成電路概述
半導體集成電路（英文名：semiconductor integrated circuit），是指在一個半導體襯底上至少有一個電路塊的半導體集成電路裝置。 半導體集成電路是將晶體管，二極管等等有源元件和電阻器，電容器等無源元件，按照一定的電路互聯，“集成”在一塊半導體單晶片上，從而完成特定的電路
電子束實驗儀實驗內容介紹
[儀器特點] 1、本儀器結構簡單，原理直觀，無需另配其它設備，只用一套實驗儀器就可以做一系列內容由淺入深、系統性很強的基礎實驗，所得實驗數據結果的精度也很高。做完這一系列實驗之后，學生對有關物理現象的理論基礎能有比較深刻的印象。 2、整個實驗儀器安裝在一只鋁合金機箱內，各個單元構成模
電子束實驗儀實驗內容介紹
[儀器特點] 1、本儀器結構簡單，原理直觀，無需另配其它設備，只用一套實驗儀器就可以做一系列內容由淺入深、系統性很強的基礎實驗，所得實驗數據結果的精度也很高。做完這一系列實驗之后，學生對有關物理現象的理論基礎能有比較深刻的印象。 2、整個實驗儀器安裝在一只鋁合金機箱內，各個單元構成模
電子束實驗儀實驗內容介紹
1、本儀器結構簡單，原理直觀，無需另配其它設備，只用一套實驗儀器就可以做一系列內容由淺入深、系統性很強的基礎實驗，所得實驗數據結果的精度也很高。做完這一系列實驗之后，學生對有關物理現象的理論基礎能有比較深刻的印象。2、整個實驗儀器安裝在一只鋁合金機箱內，各個單元構成模塊化結構，根據不同實驗的需要，可
高斯電子束掃描系統矢量掃描方式
曝光時，先將單元圖形分割成場，工件臺停止時電子束在掃描場內逐個對單元圖形進行掃描，并以矢量方式從一個單元圖形移到另一個單元圖形；完成一個掃描場描繪后，移動工件臺再進行第二個場的描繪，直到完成全部表面圖形的描繪。 由于只對需曝光的圖形進行掃描，沒有圖形部分快速移動，故掃描速度較高。同時為了提高速
掃描電鏡電子束穿透成像效應
掃描電鏡信號出射深度或信號從樣品表面發射的面積大小，決定了掃描電鏡探測樣品信息的空間分辨率。電子束樣品相互作用區和被測信號取樣區這兩個概念對于圖像解釋和定量x射線顯微分析都很重要。評估電子束樣品作用區的三個主要變量1)平均原子序數Z ，原子序數高作用區越小；2)束電子能量Kev ，束電子能量越低，作
電熱板電子束加熱相關介紹
利用在電場作用下高速運動的電子轟擊物體表面，使之被加熱。進行電子束加熱的主要部件是電子束發生器，又稱電子槍。電子槍主要由陰極、聚束極、陽極、電磁透鏡和偏轉線圈等部分組成。陽極接地，陰極接負高位，聚焦束通常和陰極同電位，陰極和陽極之間形成加速電場。由陰極發射的電子，在加速電場作用下加速到很高速度,
集成電路制造展會|2024上海FPGA展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
時間確定集成電路展/2024深圳國際集成電路展會4月舉辦
2024深圳集成電路展|深圳半導體展|深圳封裝測試展2024中國（深圳）國際集成電路展覽會地 點：深圳會展中心展覽時間：2024年4月9-11日參展咨詢：021-5416 3212大會負責人：李經理 136 5198 3978展會回顧上屆展會展出面積35000平方米，吸引了全球的600多家企業參展，
中國集成電路展|2024上海國際集成電路展覽會「點擊咨詢」
2024中國（上海）國際電子展覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18-19日?展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??展會介紹：? ? ? ?電子產業是電子信息產業的基礎支撐，中國電子元器件的發展過程是從無
集成電路制造展會|2024上海分立器件展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海物聯網展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海封裝測試展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海功率器件展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海芯片制造展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
電子束熱處理的工藝是怎樣的
常見的熱處理工藝有正火，退火，固溶，時效，淬火，回火，退火，滲碳，滲氮，調質，球化，釬焊等：1．正火：將鋼材或鋼件加熱到臨界點AC3或ACM以上的適當溫度保持一定時間后在空氣中冷卻，得到珠光體類組織的熱處理工藝。2．退火annealing：將亞共析鋼工件加熱至AC3以上20—40度，保溫一段時間后，
電子束焊齒輪的超聲波探傷
?電子束焊是在真空狀態下不依賴焊材而直接用電子束產生高能量，在幾秒至幾十秒時間內熔化兩構件接觸面附件金屬而焊成一體的焊接方法。汽車變速箱齒輪等常用電子束焊接方式，既保證了產品質量，又降低了產品成本。電子束焊接部位一般不允許出現裂紋等危害性缺陷，主要用超聲波探傷方法進行檢測，既有效又經濟。? ? 電子
關于電子束檢測的基本信息介紹
電子束檢測（Electrons Beam inspection，簡稱E-beam inspection、EBI），用于半導體元件的缺陷(defects)檢驗，以電性缺陷(Electrical defects)為主，形狀缺陷(Physical defects)次之。 電子束檢測以聚焦電子束作為檢
FQFP集成電路的封裝特點
FQFP(fine pitch quad flat package)小引腳中心距QFP。通常指引腳中心距小于0.65mm 的QFP(見QFP)。部分導導體廠家采用此名稱。
MFP集成電路的封裝特點
MFP(mini flat package)小形扁平封裝。塑料SOP 或SSOP 的別稱(見SOP 和SSOP)。部分半導體廠家采用的名稱。