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  • 發布時間:2016-04-07 15:10 原文鏈接: 國內首個IC設備關鍵零部件綜合服務平臺建成

    日前,“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”研發任務圓滿完成并投入使用,標志著我國IC裝備零部件在國產化進程中又邁出了重要的一步,不僅打破了該領域核心零部件長期依賴國外進口的被動局面,大幅度提升了我國IC裝備制造產業鏈的整體競爭力。

    隨著我國集成電路產業的快速發展,產業需求已占到全球一半以上,但我國集成電路產業的供給能力只能滿足國內市場需求的1/10,單元部件和零件國際采購受到嚴重制約,而國內供應商配套能力嚴重缺失,導致我國IC設備生產企業在零部件采購和備件采購過程中普遍面臨采購成本、采購周期無法滿足需求,迫切需要解決零部件和集成制造本土化。

    平臺圍繞IC裝備金屬類零部件高效精密加工、表面處理、真空電子束焊等8個方面展開技術攻關與建設,突破了精密切削加工、特種表面處理和精密焊接等一系列關鍵技術。該平臺已建設成集精密機械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設備精密零部件綜合服務平臺,建成國際水準的金屬零部件表面處理及清洗試驗線,通過多項國際先進的表面處理制程認證以及世界IC設備整機龍頭美國應用材料公司和東京電子公司的整體考核,并成為其戰略供應商,也是其在亞洲唯一硬質陽極及刷鍍鎳的供應伙伴。

    同時,平臺以共享、開放的方式為國內北方微電子、上海微電子、沈陽拓荊科技、沈陽芯源、沈陽新松等10余家IC裝備企業提供產品研發與技術創新、精密機械零部件的加工制造及特殊表面處理服務,提供千余款零部件,在保證整機零部件工藝質量的同時,替代進口,降低采購成本,支撐產業鏈快速發展,截止去年12月,完成相關銷售額5727.22萬元,具備黑色金屬零部件清洗6萬件的生產能力

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