電子探針顯微分析的原理
用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征x射線。 分析特征x射線的波長(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析)。 分析x射線的強度,則可知道樣品中對應元素含量的多少(定量分析)。 電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測器部分使用的是x射線譜儀,專門用來檢測x射線的特征波長或特征能量,以此來對微區的化學成分進行分析。 因此,除專門的電子探針儀外,有相當一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡簡上,以滿足微區組織形貌、晶體結構及化學成分三位一體同位分析的需要。 電子探針的鏡筒及樣品室和掃描電鏡并無本質上的差別,因此要使一臺儀器兼有形貌分析和成分分析兩個方面的功能,往往把掃描電子顯微鏡和電子探針組合在一起。 電子探針的信號檢測系統是x射線譜儀,用來測定特征波長的譜儀叫做波長分散譜儀(WDS)或波譜儀。 用來測定x射線特征能量的譜儀叫做能量分散譜儀(EDS)或能......閱讀全文
電子探針顯微分析的原理
用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征x射線。 分析特征x射線的波長(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析)。 分析x射線的強度,則可知道樣品中對應元素含量的多少(定量分析)。 電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測器部分使用的是x射線譜儀,
電子探針顯微分析的方法介紹
電子探針分析有兩種基本分析方法:定性分析和定量分析。 (1)定性分析 定性分析是對試樣某一選定點(區域) 進行定性成分分析,以確定點區域內存在的元素。 定性分析的原理:用光學顯微鏡或在熒光屏顯示的圖像上選定需要分析的點,使聚焦電子束照射在該點上,激發該點試樣元素的特征X射線。用X射線譜儀探
簡介電子探針顯微分析的特點
1.顯微結構分析 電子探針是利用0.5μm-1μm的高能電子束激發待分析的樣品,通過電子與樣品的相互作用產生的特征X射線、二次電子、吸收電子、 背散射電子及陰極熒光等信息來分析樣品的微區內(μm范圍內)成份、形貌和化學結合狀態等特征。電子探針是幾個μm范圍內的微區分析, 微區分析是它的一個重要
電子探針顯微鏡之顯微結構分析
電子探針是利用 0.5μm-1μm 的高能電子束激發待分析的樣品,通過電子與樣品的相 互作用產生的特征 X 射線、二次電子、吸收電子、 背散射電子及陰極熒光等信息來分析樣 品的微區內(μm 范圍內)成份、形貌和化學結合狀態等特征。電子探針是幾個μm 范圍內的 微區分析, 微區分析是它的一個重要
礦物的成分測試方法(電子探針顯微分析)
電子探針X射線顯微分析儀(EPM),簡稱電子探針,是一種現代成分分析儀器。由于它可以獲得礦物微米量級微區內的化學成分,并且無需分離和破壞樣品,費用也不高,尤其是對于那些含量少、顆粒微小以及成分不均勻樣品的成分分析,提供了有效的分析方法,因此目前在礦物成分研究中應用最廣。它除了可以給出一個微區的成分外
什么是電子探針顯微分析儀
電子探針顯微分析(EPMA = Electron Probe Microanalysis),全稱:電子探針x射線顯微分析,是一種顯微分析和成分分析相結合的微區分析。適用于分析試樣中微小區域的化學成分,是研究材料組織結構和元素分布狀態的有效方法。 電子探針顯微分析是利用聚焦電子束(電子探測針)照
電子探針的原理
電子探針的原理如圖1所示。圖1(1)電子光學系統。電子束直徑0.1~1μm,電子束穿透深度1~3μm。被激發原子發射特征X射線譜過程如下:圍繞原子核運動的內層電子,被電子束的電子轟擊后,其他外層電子為補充轟擊出的電子而發生躍遷,在躍遷過程中釋放出能量,即發射出X射線。(2)X射線譜儀。測量各種元素產
電子探針顯微分析的兩種掃描方式
電子探針分析有兩種掃描方式:線掃描分析和面掃描分析。 (1)線掃面分析 使聚焦電子束在試樣觀察區內沿一選定直線(穿越粒子或界面)進行慢掃描。 X射線譜儀處于探測某已知元素特征X射線狀態,得出反映該元素含量變化的特征X射線強度沿試樣掃描線的分布。 X射線譜儀處于探測未知元素狀態,得出沿掃描
電子探針X射線顯微分析儀概述
電子探針可以對試樣中微小區域微米的化學組成進行定性或定量分析,除做微區成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點,在冶金、地質、土壤、生物、醫學、考古以及其他領域中得到日益廣泛應用,是土壤和礦物測
電子探針X射線顯微分析儀簡介
電子探針X射線顯微分析儀,簡稱電子探針。是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線,并根據X射線的波長和強度,對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理儀器。電子探針分析的原理是以電子束轟擊試樣表面,擊出表面組成元素的原子內層電子,使原子電離,此時外層電子迅速填補空位而釋放能量,從
電子探針顯微鏡之元素分析范圍廣
電子探針所分析的元素范圍從硼(B)——鈾(U),因為電子探針成份分析是利用元素的特 征 X 射線,而氫和氦原子只有 K 層電子,不能產生特征 X 射線, 所以無法進行電子探針 成分分析。鋰(Li)和鈹(Be)雖然能產生 X 射線,但產生的特征 X 射線波長太長,通常無法進 行檢測,少數電子探針
電子探針X射線顯微分析儀概述
電子探針X射線顯微分析儀(Electron probe X-raymicroanalyser , EPMA )的簡稱為電子探針 。在眾多樣品化學成分分析的儀器中,電子探針分析技術(EPMA)是一種應用較早、且至今仍具有獨特魅力的多元素分析技術。 二戰以來,世界經濟和社會的迅猛發展極大的促進了科
電子探針的結構原理
(1)電子光學系統。電子束直徑0.1~1μm,電子束穿透深度1~3μm。被激發原子發射特征X射線譜過程如下:圍繞原子核運動的內層電子,被電子束的電子轟擊后,其他外層電子為補充轟擊出的電子而發生躍遷,在躍遷過程中釋放出能量,即發射出X射線。(2)X射線譜儀。測量各種元素產生的X射線波長和強度,并以此對
電子探針X射線微區分析的工作原理
電子探針(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。 其原理是:用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征X射線,分析特征X射線的波長(或能量)可知元素種類;分析
電子探針X射線顯微分析儀的陰極發光介紹
陰極發光是指晶體物質在高能電子的照射下,發射出可見光紅外或紫外光的現像。陰極發光現象和發光能力、波長等均與材料基體物質種類和含量有關。陰極發光效應對樣品中少量元素分布非常敏感,可以作為電子探針微區分析的一個補充,根據發光顏色或分光后檢測波長即可進行元素分析。從陰極發光的強度差異還可以判斷一些礦物
電子探針分析方法
利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學組成以及各元素的重量百分數。分析前要根據試驗目的制備樣品,樣品表面要清潔。用波譜儀分析樣品時要求樣品平整,否則會降低測得的X射線強度。 1 點分析用于測定樣品上某個指定點的化學成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素
掃描電子顯微鏡(SEM)和電子探針顯微分析裝置(EPMA)
掃描電子顯微鏡和電子探針顯微分析儀基本原理相同,但很多人分不清其差異,實際上需要使用電子探針領域比較少,而掃描電鏡相對普遍。掃描電子顯微鏡(SEM),主要用于固體物質表面電子顯微高分辨成像,接配電子顯微分析附件,可做相應的特征信號分析。 最常用的分析信號是聚焦電子束和樣品相互作用區發射出的元素特征X
關于電子探針X射線顯微分析儀的結構特點介紹
電子探針X射線顯微分析儀(簡稱電子探針)利用約1Pm的細焦電子束,在樣品表層微區內激發元素的特征X射線,根據特征X射線的波長和強度,進行微區化學成分定性或定量分析。電子探針的光學系統、真空系統等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器,同時兼有組織形貌和微區成分分析兩方
電子探針的工作原理及構造
?工作原理分析由莫塞萊定律可知,各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長,并滿足以下關系:通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素,這就是電子探針定性分析的依據。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比,即:就能進行電子探針的定量分析。 當然利用電子束激發的X射線進行元素分析,其
電子探針的分析特點介紹
第一、微區性、 微量性:幾個立方μm范圍能將微區化學成分與顯微結構對應起來。而一般化學分析、 X射線熒光分析及光譜分析等, 是分析樣品較大范圍內的平均化學組成,也無法與顯微結構相對應, 不能對材料顯微結構與材料性能關系進行研究。 第二、方便快捷:制樣簡單,分析速度快。 第三、分析方式多樣化:
電子探針分析的基本介紹
以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗,又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動能為10~30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面,擊出表面組成元素的原子內層電子,使原子電離,此時外層電子迅速填補空位而釋放能量,從而產生特征X
電子探針儀器的分析特點
1.微區性、微量性:幾個立方um范圍能將微區化學成分與顯微結構對應起來。而一般化學分析、X射線熒光分析及光譜分析等,是分析樣品較大范圍內的平均化學組成,也無法與顯微結構相對應,不能對材料顯微結構與材料性能關系進行研究。 2.方便快捷:制樣簡單,分析速度快。 3.分析方式多樣化:可以連續自動進
關于電子探針X射線顯微分析儀的俄歇電子介紹
入射電子與樣品相互作用后,元素原子內層軌道的電子轟擊出來成為自由電子或二次電子,而留下空位,從而原子不穩定。則外層高能電子填充空位,釋放出能量,釋放的能量一方 面以輻射特征X射線的方式釋放,另一方面釋放的能量被該原子吸收,從而從另一軌道上轟擊出電子,該電子為俄歇電子。俄歇電子發生的幾率隨原子序
電子探針顯微鏡之定量分析準確度高
電子探針是目前微區元素定量分析最準確的儀器。電子探針的檢測極限(能檢測到的元 素最低濃度)一般為(0.01-0.05)wt%, 不同測量條件和不同元素有不同的檢測極限,但 由于所分析的體積小,所以檢測的絕對感量極限值約為 10-14 g,定量分析的相對誤差為(1— 3)%,對原子序數大于 1
電子探針射線顯微分析和場發射掃描電鏡的不同區別
所謂的場發射掃描電鏡是指,相較于傳統的鎢燈絲光源而言,其采用更了為先進的肖脫基場發射光源。采用場發射光源后電子束能量更強,二次電子相(也就是我們平時所說的掃描照片)更加清晰,放大倍數在理想的情況下可以達到10萬倍以上。同時,在進行EBSD的測試中也具有相當的優勢。 電子探針,即EPMA, 是一
電子探針X射線顯微分析儀的特征X射線和吸收電子
特征X射線 高能電子入射到樣品時,樣品中元素的原子內殼層(如K、L殼層) 處于激發態原子較外層電子將迅速躍遷到有空位的內殼層,以填補空位降低原子系統的總能量,并以特征X射線釋放出多余的能量。 吸收電子 入射電子與樣品相互作用后,能量耗盡的電子稱吸收電子。吸收電子的信號強度與背散射電子的信號
電子探針射線顯微分析和場發射掃描電鏡有什么不同?
簡單說說,可能不規范。所謂的場發射掃描電鏡是指,相較于傳統的鎢燈絲光源而言,其采用更了為先進的肖脫基場發射光源。采用場發射光源后電子束能量更強,二次電子相(也就是我們平時所說的掃描照片)更加清晰,放大倍數在理想的情況下可以達到10萬倍以上。同時,在進行EBSD的測試中也具有相當的優勢。電子探針,即E
電子探針顯微鏡之不損壞試樣探測
現在電子探針均與計算機聯機,可以連續自動進行多種方法分析,并自動進行數據處理 和數據分析,對含 10 個元素以下的樣品定性、定量分析,新型電子探針在 30min 左右可以 完成,如果用 EDS 進行定性、定量分析,幾 min 即可完成。對表面不平的大樣品進行元素 面分析時,現在可以自動聚焦分析
電子探針X射線微區分析儀的工作原理是怎樣的呢?
????????電子探針X射線微區分析儀簡稱電子探針。利用髙能電子束與物質相互作用時產生的特征X射線來分析試樣微區化學組成的一種顯微儀器。其工作原理為:聚焦得很細的電子束照射在試樣某微區,使該微區原子受激產生特征X射線,通過已知晶面間距的分光晶體對不同波長的X射線分光,來測量它的波長與強度,從而對微
關于電子探針X射線微區分析的線分析
使入射電子束在樣品表面沿選定的直線掃描,譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號,其強度在這一直線上的變化曲線可以反映被測元素在此直線上的濃度分布,線分析法較適合于分析各類界面附近的成分分布和元素擴散。 實驗時,首先在樣品上選定的區域拍照一張背散射電子像(或二次電子像),再把線分析的位置和線分析