清華大學儀器共享平臺科特·萊斯科多靶位磁控濺射系統
儀器名稱：多靶位磁控濺射系統儀器編號：21012328產地：美國生產廠家：科特·萊斯科公司型號：PVD75出廠日期：購置日期：2021-07-12所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：62781090固定手機：13661079620固定email：douwz@tsinghua.edu.cn聯系人：竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分類標簽：微納加工 半導體工藝 磁控濺射 材料制備技術指標：工藝腔配備冷泵，本底真空：10e-8 torr；成膜均勻性<3%；同時裝載5個靶位；全自動傳送片系統知名用戶：錢鶴教授，吳華強教授，陳煒教授，劉澤文教授。技術團隊：竇維治、韓冰、魏治乾功能特色：該設備的特點如下：本底真空可達到10E-8Torr量級；基片溫度可以控制在室溫~800℃；可實現6英寸及以下尺寸的硅......閱讀全文
清華大學儀器共享平臺科特·萊斯科－多靶位磁控濺射系統
儀器名稱：多靶位磁控濺射系統儀器編號：21012328產地：美國生產廠家：科特·萊斯科公司型號：PVD75出廠日期：購置日期：2021-07-12所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：62781090固定手機：13661079620固定email：
多靶位磁控濺射系統共享應用
儀器名稱：多靶位磁控濺射系統儀器編號：21012328產地：美國生產廠家：科特·萊斯科公司型號：PVD75出廠日期：購置日期：2021-07-12所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：62781090固定手機：13661079620固定email：
清華大學儀器共享平臺磁控濺射鍍膜機
儀器名稱：磁控濺射鍍膜機儀器編號：13001328產地：中國生產廠家：創世威納科技公司型號：MSP-3200T出廠日期：201301購置日期：201301所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：一樓平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：魏治乾（010-62781090,19
清華大學儀器共享平臺中聯科利－清洗機
儀器名稱：清洗機儀器編號：11023084產地：中國生產廠家：中聯科利型號：CUC-XS004A-05-10-M-A出廠日期：200612購置日期：201111所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>清洗/濕法工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：宗莉（01
清華大學儀器共享平臺金盛微納－全自動磁控濺射系統
儀器名稱：全自動磁控濺射系統儀器編號：12024341產地：中國生產廠家：金盛微納科技有限公司型號：MSP-150B出廠日期：201112購置日期：201211所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：劉建設（,,zh
清華大學儀器共享平臺愛發科－燈加熱退火爐
儀器名稱：燈加熱退火爐儀器編號：21006364產地：日本生產廠家：愛發科真空設備（上海）有限公司型號：MILA-5000-P-N出廠日期：購置日期：2021-04-06所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固
清華大學儀器共享平臺nikon－系統測試
儀器名稱：系統測試nikon儀器編號：A15000007產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：醫研院>生物醫學測試中心>尼康影像中心放置地點：醫學科學樓C153固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
金屬多靶磁控濺射機
金屬多靶磁控濺射機是一種用于電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，于2014年1月1日啟用。 1）真空系統：復合分子泵+直聯旋片無油機械泵抽真空系統；真空極限：優于5.0×10E-5Pa ；抽速：從大氣開始抽氣，濺射室25分鐘可達到10E-4Pa；系統漏率≤ 5×10-7PaL/s，系統停泵關機1
清華大學儀器共享平臺Ultratech－原子層沉積系統
儀器名稱：原子層沉積系統儀器編號：17016605產地：美國生產廠家：Ultratech型號：Savannah S100出廠日期：購置日期：2017-06-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：固定email：haosun@ts
清華大學儀器共享平臺泰斯肯－高分辨高靈敏度表面分析系統
儀器名稱：高分辨高靈敏度表面分析系統儀器編號：22000545產地：捷克生產廠家：泰斯肯型號：S9000X出廠日期：購置日期：2021-12-30所屬單位：材料學院>材料中心 >逸夫樓部分>高分辨高靈敏度表面分析分室放置地點：逸夫技術科學樓A136固定電話：62797277固定手機：固定email：
清華大學儀器共享平臺TRION－化學氣相沉積系統
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-6278
清華大學儀器共享平臺Gatan－直讀式特殊成像系統
儀器名稱：直讀式特殊成像系統儀器編號：15005988產地：美國生產廠家：Gatan型號：K2出廠日期：2013.9購置日期：201504所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>冷凍電鏡平臺>設施蛋白質冷凍電鏡平臺放置地點：生物新館129固定電話：固定手機：固定email：聯系人：分類標簽：電子顯微
清華大學儀器共享平臺四川景恒－CVD系統
儀器名稱：CVD系統儀器編號：21000218產地：中國生產廠家：四川景恒科技有限公司型號：Lindberg/Blue M出廠日期：購置日期：2021-01-13所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定ema
清華大學儀器共享平臺安捷倫－Cytation－10圖像處理系統
儀器名稱：Cytation 10圖像處理系統儀器編號：A23000114產地：美國生產廠家：安捷倫公司型號：Cytation 10出廠日期：20231027購置日期：20231027所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>細胞影像 平臺放置地點：生物醫學館U6 098固定電話：0106
清華大學儀器共享平臺LMD7000－激光顯微切割系統
儀器名稱：激光顯微切割系統 LMD7000儀器編號：14017291產地：德國生產廠家：Leica型號：LMD7000出廠日期：201308購置日期：201409所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>設施細胞影像平臺放置地點：清華大學生物醫學館U6-116固定電話：固定手機：固定em
清華大學儀器共享平臺Kurt－LAB18薄膜沉積系統
儀器名稱：LAB18薄膜沉積系統儀器編號：12028282產地：中國生產廠家：Kurt型號：KJLC出廠日期：201204購置日期：201212所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-62781090
超高真空多靶磁控濺射鍍膜儀
超高真空多靶磁控濺射鍍膜儀是一種用于物理學領域的物理性能測試儀器，于2010年2月21日啟用。 技術指標 雙室磁控濺射系統，極限壓力：主濺射室，6.67*10-6Pa，2、永磁靶5套，三個直流電源，兩個射頻電源，靶材直徑60mm；3、6個樣品工位，尺寸直徑30mm，基片加熱最高600度，退火
清華大學儀器共享平臺管式爐
儀器名稱：管式爐儀器編號：21002920產地：中國生產廠家：易安科儀（北京）國際貿易有限公司型號：TF55035C0MC出廠日期：購置日期：2021-03-02所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定ema
清華大學儀器共享平臺物理吸附儀
儀器名稱：物理吸附儀儀器編號：A14000002產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：化工系>化工系測試平臺>反應工程實驗室放置地點：清華大學化工系工物館305固定電話：固定手機：固定email：聯系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清華大學儀器共享平臺物理吸附儀
儀器名稱：物理吸附儀（兩站）儀器編號：15012504產地：美國生產廠家：美國康塔儀器型號：Autosorb-iQ2-C出廠日期：201109購置日期：201507所屬單位：化工系>化工系測試平臺>反應工程實驗室放置地點：化學工程實驗樓固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬鳴宇（010-11
清華大學儀器共享平臺日本愛斯佩克－小型環境試驗箱
儀器名稱：小型環境試驗箱儀器編號：11015033產地：日本生產廠家：日本愛斯佩克株式會社型號：SU-661出廠日期：201105購置日期：201107所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：微電子所平房固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬海艷（010-66668888,1
清華大學儀器共享平臺奧林巴斯SpinSR轉盤共聚焦顯微成像系統
儀器名稱：奧林巴斯SpinSR轉盤共聚焦顯微成像系統儀器編號：21019132產地：日本生產廠家：奧林巴斯型號：SpinSR出廠日期：購置日期：2021-09-08所屬單位：生命學院>清華-IDG/麥戈文腦科學共享儀器開放實驗室放置地點：生物醫學館U6039固定電話：010-62798607固定手機
清華大學儀器共享平臺頭戴式小鼠活體鈣成像系統
儀器名稱：頭戴式小鼠活體鈣成像系統儀器編號：A23000163產地：美國生產廠家：Inscopix型號：nVue出廠日期：20230212購置日期：20221230所屬單位：藥學院>藥學技術中心>神經藥理平臺放置地點：固定電話：固定手機：固定email：聯系人：分類標簽：微型顯微鏡 小動物鈣成像 活
清華大學儀器共享平臺Gatan－離子束鍍膜刻蝕系統
儀器名稱：離子束鍍膜刻蝕系統儀器編號：14012804產地：美國生產廠家：Gatan型號：682出廠日期：201308購置日期：201407樣品要求：尺寸要求：最大尺寸直徑32mm、高度10mm樣品其他要求：真空下不能有揮發物。所屬單位：材料學院>材料中心 >電鏡中心放置地點：主樓11-127固定電
清華大學儀器共享平臺JEOL－掃描電鏡
儀器名稱：掃描電鏡儀器編號：02012309產地：日本生產廠家：日本電子公司型號：JSM-6460LV出廠日期：200208購置日期：200210所屬單位：材料學院>先進材料薄膜材料實驗室放置地點：逸夫技科樓1134室固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曾飛（010-62795373,186
清華大學儀器共享平臺反應離子蝕刻機
儀器名稱：反應離子蝕刻機儀器編號：85427700產地：瑞典生產廠家：瑞典型號：PTL 520/520出廠日期：198509購置日期：198509所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>刻蝕工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：李希有（010-6278404
清華大學儀器共享平臺低溫納米傾角臺
儀器名稱：低溫納米傾角臺儀器編號：21000293產地：德國生產廠家：attocube systems AG型號：ANC350出廠日期：購置日期：2021-01-13樣品要求：樣品要求:與平臺測試人員聯系具體細節預約說明：測試所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定
清華大學儀器共享平臺THERMO－管式馬弗爐
儀器名稱：管式馬弗爐儀器編號：16042569產地：中國生產廠家：THERMO型號：TF55035C-1出廠日期：購置日期：2016-12-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：haosun
清華大學儀器共享平臺JEOL－掃描電鏡
儀器名稱：掃描電鏡儀器編號：02012309產地：日本生產廠家：日本電子公司型號：JSM-6460LV出廠日期：200208購置日期：200210所屬單位：材料學院>先進材料薄膜材料實驗室放置地點：逸夫技科樓1134室固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曾飛（010-62795373,186
清華大學儀器共享平臺SUSS－光刻機
儀器名稱：光刻機儀器編號：20004477產地：中國生產廠家：SUSS Micro Tec Lithography Gmb型號：MJB4出廠日期：購置日期：2020-06-09所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：固定email：h