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  • 氫化物氣相外延(HVPE)

    牛總部設在美國馬里蘭州銀泉的TDI是世界領先的發展生產新型化合物半導體,如GaN,AlN,AlGaN ,InN和InGaN的氫化物氣相外延( HVPE )工藝和技術的公司。 這些材料被用于各種應用,最主要的是固態照明,短波長光電子和射頻功率電子。 TDI生產的氮化物模板 氫化物氣相外延 在HVPE工藝過程中,III族氮化物(如GaN,AlN)是由熱的氣態金屬氯化物(如GaCl或AlCl)與氨氣(NH3) (參照如下公式)反應形成的 。 金屬氯化物是熱的HCl氣體通過熱的III族金屬產生的。 所有反應都是在溫度控制的石英爐內進行的。 如,熱 HCl (氣) + Ga (液) ------> GaCl (氣) GaCl (氣) + NH3 (氣) -------> GaN (固) + HCl (氣) + H2 (氣) GaN或AlN模板被生長在諸如SiC或藍寶石的襯底上......閱讀全文

    氫化物氣相外延(HVPE)

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    基于簡單的支架的多片4HSiC化學氣相沉積同質外延生長

    雖然在商用化學氣相沉積設備中可以在一次運行中實現多片4H-SiC襯底的同質外延生長,但是必須將晶片裝載到可旋轉的大型基座上,這導致基座的直徑隨著數量或者外延晶片總面積的增加而增加。在這項工作中,我們展示了一種簡便的方法,通過自制的常規單晶片化學氣相沉積設備,在沒有大型基座的情況下,在簡單的支架上放置

    通過氯化氫化學氣相沉積法對厚4HSiC薄膜同質外延生長...

    通過氯化氫化學氣相沉積法對厚4H-SiC薄膜同質外延生長的工藝優化 通過氯化氫化學氣相沉積法對厚4H-SiC薄膜同質外延生長的工藝優化本篇文章中提出了一種通過氯化氫化學氣相沉積(HCVD)在4°切割基板上快速同質外延生長厚的4H-SiC薄膜的工藝優化方法。所使用的氣體是HCl與SiH4,C2H

    分子束外延(MBE)

      分子束外延設備有很多種。但就其主要結構而論是大同小異的。分子束外延的設備較其他外延技術的設備復雜,要包括超高真空系統努森箱及各種分析儀器。從MBE技術的發展過程看,當初主要是為開發以GaAs為中心的Ⅲ-V族化合物半導體,而后是針對Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半導體,最近正轉向針對Si半導體器件的應用

    牛津儀器TDI收購FOX-集團的知識產權

      TDI,牛津儀器的全資子公司,在氫化物氣相外延(HVPE)新型化合物半導體,如GaN、AlN、AlGaN、InN、InGaN等方面處于世界領先地位,剛與FOX集團簽訂了許可協議。這項協議是收購FOX集團知識產權,牛津儀器可以直接提供LED的硬件和流程和P型摻雜物,除此之外還提供III-V族氮化物

    我國學者在低溫非外延制備MAX相涂層方面取得進展

      Mn+1AXn相(MAX相)是一大類熱力學穩定、具有密排六方結構的層狀陶瓷材料。M代表前過渡金屬(如Ti、V、Cr等);A代表IIIA或IVA主族元素(如Al、Si等);X代表C或N。MAX相的獨特晶體結構由密堆的M6X八面體層和A原子層交互迭排組成,這一結構使其兼備金屬和陶瓷的優良性能,如高導

    分子束外延(MBE)裝置

      MBE裝置由樣品進樣室、預處理分析室和牛K竄等組成。竄間用閘扳閥隔開,以確保生長室的超高真空與清潔。  根據MBE系統的幾何結構相應地配置真空系統。根據要求,3個室的真空配置的配置泵的系統并非一樣:  (1)進樣室。真空度為1.33 x10-6~1 33 x10-8Pa。在l 33×10-6~1

    SiC同質外延厚度分析

      鈍化層分析 鈍化層作為保護層、絕緣層或抗反射層,在半 導體材料中扮演著重要的角色。 VERTEX 系列 光譜儀是分析鈍化層的理想工具,它可以實 現快速靈敏的無損分析。   磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析 分析SiN等離子層和Si-O基鈍化層 分析超低K層   

    什么是氣相、液相

    氣相屬于分配層析或吸附層析,僅適用于分析分離揮發性和低揮發性物質。固定相是在惰性支持物(如磨細的耐火磚)上覆蓋一層高沸點液體,如硅油、高沸點石蠟和油脂、環氧類聚合物。液相:均勻的溶液也是一個相,稱為液相。液相是物質呈現液體的狀態,且在這個系統里只有液體,沒有固相(即固體),也沒有氣體(即氣相:通常任

    什么是氣相-液相

    氣相屬于分配層析或吸附層析,僅適用于分析分離揮發性和低揮發性物質。固定相是在惰性支持物(如磨細的耐火磚)上覆蓋一層高沸點液體,如硅油、高沸點石蠟和油脂、環氧類聚合物。液相:均勻的溶液也是一個相,稱為液相。液相是物質呈現液體的狀態,且在這個系統里只有液體,沒有固相(即固體),也沒有氣體(即氣相:通常任

    什么是氣相-液相

    氣相屬于分配層析或吸附層析,僅適用于分析分離揮發性和低揮發性物質。固定相是在惰性支持物(如磨細的耐火磚)上覆蓋一層高沸點液體,如硅油、高沸點石蠟和油脂、環氧類聚合物。液相:均勻的溶液也是一個相,稱為液相。液相是物質呈現液體的狀態,且在這個系統里只有液體,沒有固相(即固體),也沒有氣體(即氣相:通常任

    氫化物(冷蒸氣)的氣相分離富集技術氣球收集法

    氣球收集法并不是嚴格意義上的富集方法,它主要是用于解決 Zn-酸體系中氫化物發生較慢的問題而提出的。其實施方法 是:先將 HG 反應中產生的氫化物及氫氣收集在一個氣球中,反應結束后,將氫化物及氫氣一次送入原子化器中進行檢測。這種收集法有一個固有缺點:多數氫化物在常溫下不穩定,在收集過程中容易分解并吸

    氫化物(冷蒸氣)的氣相分離富集技術固體吸附法

    迄今為止,大多數用固體物質吸附氫化物的工作都是利用在氣相色譜柱中填充的固定相完成的,而所有這些工作的考慮基本上都是以分離而不是以富集為主要目的。在分光光度測定中,也有用固體 KBrO3-KH2PO4?吸附氫化物的報道。利用固相物質吸收:吸附富集氫化物后采用原子光譜測定的工作還做得不多, Reamer

    氫化物(冷蒸氣)的氣相分離富集技術溶液吸收法

    這一方法是利用氫化物和溶液的反應將氫化物富集于溶液中, 吸收液體系有如 Ag-DDC,HgCl2,AgNO3?等。因為所采用的氫化物的吸收體系吸收富集氫化物后,通常是把吸收液直接進樣引入原子化器原子化測 定,不可避免地存在著吸收液基體的干擾,沒有把利用氫化物發生技術可去除樣品基體影響的特長很好地發揮

    氣相色譜之載氣控制

      進行氣相色譜分析時要使用作為流動相的載氣和用于檢測器的燃氣和助燃氣。  1.載氣  氮氣、氦氣、氫氣、氬氣都可用作氣相色譜的流動相,常稱作載氣。  常用載氣的性質見表1。  表1常用載氣物性表  注:1.密度在0℃測定;黏度在20℃測定;熱導率在100℃測定。  2.IP=0.1Pa·s,1ca

    氣相色譜儀氣源

    .氣源準備及凈化(1)氣源準備 事先準備好需用氣體的高壓鋼瓶(一般大中城市均可購到),莊某一種氣體的鋼瓶只能裝這種氣體,每個鋼瓶的顏色代表一種氣體,不能互換。一般用氮氣,氫氣,空氣這三種氣體,每種氣體最好準備兩個鋼瓶,以備用。有的廠使用氫氣發生器和空氣壓縮機也可,但空壓機必須無油。凡鋼瓶氣壓下降到1

    氣相色譜載氣的選擇

    作為氣相色譜載氣的氣體,要求要化學穩定性好;純度高;價格便宜并易取得;能適合于所用的檢測器。常用的載氣有氫氣、氮氣、氬氣、氦氣、二氧化碳氣等等。其中氫氣和氮氣價格便宜,性質良好,是用作載氣的良好氣體。(1)氫氣:由于它具有分子量小,分子半徑大,熱導系數大,粘度小等特點,因此在使用TCD時常采用它作載

    氣相色譜載氣的選擇

    作為氣相色譜載氣的氣體,要求要化學穩定性好;純度高;價格便宜并易取得;能適合于所用的檢測器。常用的載氣有氫氣、氮氣、氬氣、氦氣、二氧化碳氣等等。其中氫氣和氮氣價格便宜,性質良好,是用作載氣的良好氣體。 (1)氫氣:由于它具有分子量小,分子半徑大,熱導系數大,粘度小等特點,因此在

    分子束外延要點解析

      一、分子束外延 (Molecular Beam Epitaxy,MBE)簡介  在超高真空環境下, 使具有一定熱能的一種或多種分子 (原子) 束流噴射到晶體襯底 ,在襯底表面發生反應的過程,由于分子在 "飛行"過程中幾乎與環境氣體無碰撞 ,以分 子束的形式射向襯底 ,進行外延生長, 故此而得名。

    分子束外延(MBE)的特點

      (1)生長速率極慢,大約1um/小時,相當于每秒生長一個單原子層,因此有利于實現精確控制厚度、結構與成分和形成陡峭的異質結構等。實際上是一種原子級的加工技術,因此MBE特別適于生長超晶格材料。  (2)外延生長的溫度低,因此降低了界面上熱膨脹引入的晶格失配效應和襯底雜質對外延層的自摻雜擴散影響。

    氣相色譜原理

    原 ? 理:色譜分析是一種多組份混合物的分離、分析工具。它主要利用物質的物理性質對混合物進行分離,測定混合物的各組份。并對混合物中的各組份進行定量、定性分析。氣相色譜儀是以氣體作為流動相(載氣)。當樣品被送入進樣器后由載氣攜帶進入色譜柱。由于樣品中各組份在色譜柱中的流動相(氣相)和固定相(液相或固相

    氣相色譜掃盲

    氣相色譜氣相色譜(gas chromatography 簡稱GC)是二十世紀五十年代出現的一項重大科學技術成就。這是一種新的分離、分析技術,它在工業、農業、國防、建設、科學研究中都得到了廣泛應用。氣相色譜可分為氣固色譜和氣液色譜。氣相色譜可分為氣固色譜和氣液色譜。氣固色譜指流動相是氣體,固定相是固體

    氣相色譜原理

    氣相色譜(GC)主要是利用物質的沸點、極性及吸附性質的差異來實現混合物的分離,其過程如圖氣相分析流程圖所示。待分析樣品在汽化室汽化后被惰性氣體(即載氣,也叫流動相)帶入色譜柱,柱內含有液體或固體固定相,由于樣品中各組分的沸點、極性或吸附性能不同,每種組分都傾向于在流動相和固定相之間形成分配或吸附平衡

    氣相色譜詞條

      1色譜法 chromatography 又稱色層法、層析法,是一種對混合物進行分離、分析的方法。1903年俄國植物學家茨威特在分離植物色素時,得到了各種不同顏色的譜帶,故得名色譜法。以后此法雖逐漸應用于無色物質的分離,但“色譜”一詞仍被人們沿用至今。色譜法的原理是基于混合物中各組分在兩

    淺談氣相色譜

    淺談氣相色譜氣相色譜的名稱由來,是因為其使用的流動相是氣體。氣體推動樣品前進,樣品在流動相和固定相這兩相間進行多次分配,zui終各個組分得到分離。由此可見,作為流動相的氣體是十分重要的,其種類、純度以及穩定性對于氣相色譜的分離至關重要。作為流動相的氣體一般稱之為載氣。另外,在氣相色譜法當中,當儀器配

    氣相色譜知識

      氣相色譜原理  色譜法又叫層析法,它是一種物理分離技術。它的分離原理是使混合物中的各組分在兩相間進行分配,其中的一相是不動的,叫做固定相,另一相則是推動混合物流過此固定相的流體,叫做流動相。當流動相中所含的混合物經過固定相,就會與固定相發生相互作用。由于各組分在性質與結構上的不同,相互作用的大小

    氣相色譜原理

    氣相色譜原理色譜法又叫層分析法,它是一種物理分離技術。阿德分離原理是使混合物中的各組分在兩相間進行分配,其中的一相是不動的,叫做固定相,另一相則是推動混合物流過此固定相的流體,叫做流動相。當流動相中所含的混合物經過固定相,就會與固定相發生相互作用。由于各組分在性質與結構上的不同,相互作用的大小強弱也

    氣相色譜入門

    下載地址:氣相色譜入門 文件簡介: 本書所提供的信息將有助于您有效地使用氣相色譜儀(GC)1 什么是氣相色譜本章介紹氣相色譜的功能和用途以及色譜儀的基本結構2 進樣方式本章介紹氣相色譜最常用的幾種進樣方式3 組分分離樣品經過色譜柱而被分離成單個組分本章將告訴你如何進行分離和怎樣使用色譜柱4 組分

    氣相色譜原理

    氣相色譜原理是利用色譜柱先將混合物分離。當樣品由微量注射器“注射”進入進樣器后,被載氣攜帶進入填充柱或毛細管色譜柱。由于樣品中各組分在色譜柱中的流動相(氣相)和固定相(液相或固相)間分配或吸附系數的差異,在載氣的沖洗下,各組分在兩相間作反復多次分配使各組分在柱中得到分離。然后用接在柱后的檢測器根據組

    氣相色譜常識

    氣相色譜(gas chromatography 簡稱GC)是二十世紀五十年代出現的一項重大科學技術成就。這是一種新的分離、分析技術,它在工業、農業、國防、建設、科學研究中都得到了廣泛應用。氣相色譜可分為氣固色譜和氣液色譜。氣相色譜分類氣相色譜可分為氣固色譜和氣液色譜。氣固色譜的“氣”字指流動相是氣體

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